Une cryopompe est une pompe à vide qui utilise une surface à basse température pour condenser le gaz, également appelée pompe à condensat. La cryopompe peut obtenir un vide propre avec le taux de pompage le plus élevé et la pression ultime la plus basse, et est largement utilisée dans la recherche et la production de semi-conducteurs et de circuits intégrés, ainsi que dans la recherche sur les faisceaux moléculaires, les équipements de revêtement sous vide, les instruments d'analyse de surface sous vide, les ions implanteurs et simulation spatiale. appareils, etc...
Principe de pompage La cryopompe est équipée d'une plaque froide refroidie à très basse température par de l'hélium liquide ou un réfrigérateur. Il condense le gaz et maintient la pression de vapeur du condensat en dessous de la pression ultime de la pompe, de manière à obtenir l'effet de pompage. Les fonctions principales du pompage à basse température sont la condensation à basse température, l'adsorption à basse température et la capture à basse température.
cryopompe
① Condensation à basse température : les molécules de gaz se condensent à la surface de la plaque froide ou sur la couche de gaz condensé, et la pression d'équilibre est fondamentalement égale à la pression de vapeur du condensat. Lors du pompage d'hydrogène, la température de la plaque froide est plus basse.
②Adsorption à basse température : les molécules de gaz sont adsorbées à la surface de l'adsorbant enduit sur la plaque froide d'une épaisseur d'une couche moléculaire. La pression d'équilibre pour l'adsorption est bien inférieure à la pression de vapeur à la même température.
③Piégeage cryogénique : les molécules de gaz qui ne peuvent pas être condensées à la température d'extraction sont enfouies et adsorbées par la couche croissante de gaz condensable.