Selon la méthode d'approvisionnement du milieu, les cryopompes sont divisées en types suivants:
Pompe cryogénique du réservoir de stockage : le milieu à basse température (hélium liquide) est directement injecté dans le réservoir de stockage de la pompe pour condenser le gaz afin d'atteindre l'objectif de pompage.
Les avantages de la pompe cryogénique du réservoir de stockage sont que la pompe est de petite taille, sans vibration, sans bruit et facile à utiliser.
L'inconvénient de la pompe cryogénique du réservoir de stockage est que le coût de fonctionnement est élevé, le temps d'utilisation de chaque remplissage du milieu à basse température est court et le système de vide qui doit fonctionner en continu pendant une longue période doit reconstituer périodiquement le travail fluide, et est limité par les conditions d'alimentation du fluide à basse température.
Cryopompe de processus : le tuyau de refroidissement du cryopanneau dans la pompe est connecté au détendeur de réfrigération, et le milieu cryogénique (hélium gazeux) est fourni à la cryopompe par le pipeline externe, absorbe la chaleur du cryopanneau, puis retourne au compresseur de réfrigération pour forment un cycle fermé. Le volume de la pompe est énorme, le pipeline est compliqué et la perte de refroidissement du pipeline est importante.
L'avantage de la cryopompe de procédé est qu'elle a une grande puissance de refroidissement et qu'elle est la plus adaptée pour prélever un volume atmosphérique ou une grande chambre à vide.
Petite cryopompe frigorifique : La petite cryopompe frigorifique à cycle fermé est composée d'un corps de pompe basse température, d'un cryopanneau d'extraction d'air, d'une plaque de protection contre les radiations, d'un réfrigérateur et d'un compresseur.
La plus grande différence entre la pompe cryogénique du petit réfrigérateur et la pompe cryogénique du processus est que les première et deuxième têtes froides du réfrigérateur sont directement connectées à l'écran de rayonnement et à la plaque froide, et le débit dans la canalisation de liaison entre le réfrigérateur et le compresseur est à température normale, haute (ou basse) température. ) milieu de gaz sous pression, il n'y a pas de problème de transport de milieu à basse température, et il présente les avantages de la cryopompe de processus et de la cryopompe de réservoir de stockage. C'est une pompe à ultra-vide propre idéale à l'heure actuelle.
Les petites cryopompes frigorifiques sont largement utilisées dans la préparation de couches minces, la technologie microélectronique, la physique des hautes énergies, les petits équipements de matrice annulaire et d'autres domaines industriels.