Les cryopompes sont également largement utilisées dans la vie d'aujourd'hui. Beaucoup de gens n'ont peut-être pas entendu parler des cryopompes. Les cryopompes sont un type de pompe à vide qui utilise un gaz de condensation de surface à basse température. L'avantage est que la puissance de pompage est la plus grande. Aujourd'hui, regardons les pompes cryogéniques Comment fonctionne la pompe.
Le principe de fonctionnement de la cryopompe consiste à utiliser le gaz pour s'adsorber physiquement sur la surface à ultra-basse température afin d'obtenir l'effet d'épuisement. C'est une méthode efficace et rapide pour obtenir un aspirateur propre.
La cryopompe peut atteindre un vide extrêmement poussé (10-11Pa) et présente les avantages d'une vitesse d'échappement rapide, de l'absence d'huile et d'un sens d'installation illimité.
Sur l'étage froid du premier étage de la cryopompe, un couvercle de protection et un déflecteur sont installés et la température est maintenue à 80K. L'étage de refroidissement secondaire a été maintenu à 15K, et un couvercle cryogénique et un adsorbant au charbon actif ont été placés dessus.
La vapeur d'eau est solidifiée sur le bouclier 80K et le déflecteur 80K ; l'azote, l'oxygène et l'argon sont solidifiés sur la couverture cryogénique 15K ; l'hydrogène, l'hélium et le néon sont adsorbés sur l'adsorbant à l'intérieur de la couverture cryogénique 15K. La cryopompe peut évacuer tous les gaz, mais si la quantité de gaz adsorbé est trop importante, la vitesse d'évacuation sera réduite. Dans ce cas, il est nécessaire de chauffer la cryopompe, de libérer le gaz adsorbé et de l'utiliser à nouveau.
Caractéristiques de la cryopompe
Une cryopompe est une pompe à vide qui utilise une surface à basse température pour condenser le gaz, également appelée pompe à condensat. La cryopompe peut obtenir un vide propre avec le taux de pompage le plus élevé et la pression ultime la plus basse, et est largement utilisée dans la recherche et la production de semi-conducteurs et de circuits intégrés, ainsi que dans la recherche sur les faisceaux moléculaires, les équipements de revêtement sous vide, les instruments d'analyse de surface sous vide, les ions implanteurs et dispositifs de simulation spatiale, etc. aspect.
Une cryopompe est une pompe à vide qui utilise l'effet de condensation d'une surface de refroidissement à très basse température (inférieure ou égale à 77K) pour éliminer le gaz du système. Depuis les années 1960, le pompage cryogénique est de plus en plus utilisé dans l'acquisition et l'application du vide.
Une cryopompe est une pompe à vide propre. Du fait que le milieu cryogénique n'est qu'un fluide frigorigène qui refroidit la surface d'aspiration de la pompe et est stocké ou mis en circulation dans un récipient fermé, il n'a aucun contact avec l'espace sous vide. Cette caractéristique est essentielle pour certains systèmes d'aspiration qui nécessitent des systèmes d'aspiration propres et sans huile.
Les cryopompes peuvent atteindre des pressions partielles très faibles et des vitesses de pompage très élevées pour la plupart des gaz. Lorsque la cryopompe fonctionne en milieu hélium liquide, elle présente également les avantages d'une grande capacité de pompage réelle et d'un pompage non sélectif (sauf pour l'hélium).
Les cryopompes jouent un rôle vital dans la recherche et la production de semi-conducteurs et de circuits intégrés, la recherche sur les faisceaux moléculaires et d'autres domaines. C'est une pompe à vide propre. Ce qui précède concerne le principe de fonctionnement des cryopompes.