Les cryopompes sont fabriquées selon le principe de la condensation des gaz, de l'adsorption cryogénique, du piégeage cryogénique ou de l'aspiration pour obtenir le vide.
1. Selon la pression de travail de la pompe, elle peut être divisée en cryopompe pour la plage de débit continu, cryopompe pour la plage de débit moléculaire, généralement pompe à condensat plus une étape d'adsorption ou une étape de capture cryogénique.
2. Selon la méthode de refroidissement, il peut être divisé en cryopompe de réservoir de stockage, cryopompe à évaporation et cryopompe de réfrigération. Parmi eux, la cryopompe de réservoir de stockage et la cryopompe à évaporation utilisent toutes deux un réfrigérant liquide pour la réfrigération, la surface de l'écran de refroidissement est de l'azote liquide couramment utilisé et la surface cryogénique est de l'hélium liquide ou de l'hélium gazeux couramment utilisé pour la réfrigération. En raison de l'inflammabilité, de l'explosivité et du prix élevé de l'hydrogène liquide, il est encore rarement utilisé malgré son enthalpie d'évaporation plus élevée que l'hélium liquide.
Les réfrigérateurs à cryopompe de réfrigération sont couramment utilisés par Gifford. Type McMahon (appelé réfrigérateur GM) et type Stirling (appelé réfrigérateur St). Pour les cryopompes de réfrigération à grande vitesse de pompage, un réfrigérateur à température d'hélium liquide peut être utilisé, et une vanne JT peut être réglée pour former un dispositif de réfrigération à circulation de liquide, et parfois de l'azote liquide dans un réservoir de stockage de liquide ou une machine de liquéfaction d'azote est utilisé pour refroidir la chicane et la surface du bouclier.
La performance principale de la cryopompe
①Supérieur à la vitesse de pompage, meilleur que tous les autres types de pompes.
②Il n'y a aucune restriction sur la forme, il peut être immergé dans la chambre à vide ou fixé sur la paroi de la chambre à vide avec une bride.
③Il peut fournir un aspirateur complètement propre sans polluer le système d'aspiration.
④Degré de vide de pression extrêmement basse peut être obtenu, tel qu'en dessous de 10-12Pa. De plus, le fonctionnement de la cryopompe est fiable, et lorsque la vitesse de pompage est relativement importante, le coût de fonctionnement de son investissement est inférieur à celui de la pompe à vide traditionnelle, et il est facile de réaliser une automatisation.